特許
J-GLOBAL ID：200903054154394050
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
玉村 静世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131147
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 外乱による圧力変化の収束時間が短く安定した圧力計測が可能な圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力センサ(1)は、先端が閉じられたパイプチューブ(5)を利用してその圧力変化を双指向性エレクトレットコンデンサマイクロホン(13)で検出し、圧力センサの内部で前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの正面側と背面側とをリーク通路(15)でリークさせる構造を有する。パイプチューブを受圧部として利用することにより、外乱による圧力変化の収束時間が短く、圧力変化を安定して計測することが可能である。前記リーク通路により、マイクロホンの振動板の正面が臨む空間を大気圧へ連通させるようなエアー通入孔を形成せずにマイクロホンの飽和を防止することができる。
請求項（抜粋）：
受圧部と前記受圧部に結合された感圧素子とを有し、前記受圧部は先端部が閉じられた可撓性のパイプチューブから成り、前記感圧素子は、前記パイプチューブの基端部に結合されその中空部分に内部が連通する素子ケーシングと、前記素子ケーシングに内蔵されたエレクトレットコンデンサマイクロホンとを有し、前記素子ケーシングの内部において前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの正面側と背面側とをリークさせるリーク通路が形成されて成るものであることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 1/02
, A61B 5/0245
, G01L 9/00
G01L 1/02
, G01L 9/00 Z
, A61B 5/02 321 C
2F055AA05
, 2F055CC02
, 2F055DD11
, 2F055EE25
, 2F055FF16
, 2F055GG25
, 4C017AA02
, 4C017AA14
, 4C017AB10
, 4C017AC30
, 4C017EE01
, 4C017FF05
