特許

J-GLOBAL ID：200903054164985103

光学多層膜及び光学素子

発明者： 鵜澤 邦彦 ,  川俣 健
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-124105
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308968
出願日： 2004年04月20日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 基板表面に形成する光学多層膜において、厚さの薄い基板に光学多層膜を形成する場合でも基板の反りや変形を防止すると共に、透過率の低下を抑制できるようにする。【解決手段】 基板3の表面3aに形成される光学多層膜5であって、互いの膜屈折率が異なり、前記表面3aに交互に積層された低屈折率層7及び高屈折率層9を備え、前記低屈折率層7が、酸化硅素にLiO2、BeO、MgO、BaO、Al2O3、CaO、P2O5、TiO2、ZrO2、Nb2O5、Ta2O5、HfO2の少なくとも1種類の金属化合物を含有して構成されている光学多層膜5を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板の表面に形成される光学多層膜であって、 互いの膜屈折率が異なり、前記表面に交互に積層された低屈折率層及び高屈折率層を備え、 前記低屈折率層が、酸化硅素にLiO2、BeO、MgO、BaO、Al2O3、CaO、P2O5、TiO2、ZrO2、Nb2O5、Ta2O5、HfO2の少なくとも1種類の金属化合物を含有して構成されていることを特徴とする光学多層膜。

IPC (1件)：

G02B5/28

FI (1件)：

G02B5/28

Fターム (20件)：

2H048GA04 ,  2H048GA19 ,  2H048GA36 ,  2H048GA48 ,  2H048GA52 ,  2H048GA54 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA06 ,  4K029CA09 ,  4K029DA03 ,  4K029DB14 ,  4K029DC16 ,  4K029DC24 ,  4K029DC35 ,  4K029JA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多層膜光学部品およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-083176   出願人：キヤノン株式会社