特許

J-GLOBAL ID：200903054167882070

加速度センサ

発明者： 森 雅友 ,  小林 忠
出願人/特許権者： 曙ブレーキ工業株式会社 ,  株式会社曙ブレーキ中央技術研究所
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-297528
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160070
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】一つのチップ内に片持梁式加速度センサを複数個形成し、これによって、温度特性が良い上に、1チップで2次元あるいは3次元方向の加速度を検出できる加速度センサを提案する。【構成】固定部3と、加速度によって移動する錘5と、前記固定部と錘とを接続する梁部4と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部3から錘部5が互いに中心部に向くように十字状に配置した。

請求項（抜粋）：

固定部と、加速度によって移動する錘と、前記固定部と錘とを接続する梁部と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部から錘部が互いに中心部に向くように十字状に配置したことを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-202777
  
• 特開平4-050657
  
• 特開平4-130276
  
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144474   出願人：日本電装株式会社