加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長瀬成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-297528
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160070
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】一つのチップ内に片持梁式加速度センサを複数個形成し、これによって、温度特性が良い上に、1チップで2次元あるいは3次元方向の加速度を検出できる加速度センサを提案する。【構成】固定部3と、加速度によって移動する錘5と、前記固定部と錘とを接続する梁部4と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部3から錘部5が互いに中心部に向くように十字状に配置した。

請求項（抜粋）：

固定部と、加速度によって移動する錘と、前記固定部と錘とを接続する梁部と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部から錘部が互いに中心部に向くように十字状に配置したことを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-202777
特開平4-050657
特開平4-130276

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