特許

J-GLOBAL ID：200903054179515642

基板処理装置

発明者： 北原 大
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253138
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073138
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 基板の扱いを容易にして落下の危険を防止し、かつカセットをカセットチャンバに格納する作業の容易化を図る。【解決手段】 カセットチャンバ21の側壁部22には扉部23がヒンジ26によって90°回転可能に設けられ、手前側に倒して開いた状態として水平になった扉部23の内面に、基板が収納されたカセット12をセットし、その後、扉部23を矢印Aとは反対方向に回転させて閉じると、カセット12が90°回転させられた状態でカセットチャンバ21内に格納される。そのため、カセット12を扉部23の内面にセットするときは、基板が垂直になるようにすれば、扉部23が閉じられたとき基板は水平になって搬送機構により搬送可能な状態となる。

請求項（抜粋）：

基板を処理する処理室と、基板が収納されたカセットを格納しておくカセット室と、基板をカセット室と処理室との間で搬送する搬送機構が設けられた搬送室と、カセット室の側壁部に、垂直面内で90°回転可能に設けられ、手前側に倒すようにして開き、上側に持ち上げるようにして立てて閉じる開閉扉部と、該扉部の内面下部に取り付けられた昇降装置とを備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

C23C 14/50 ,  B65G 49/06 ,  G11B 5/84 ,  G11B 11/105 546 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

C23C 14/50 K ,  B65G 49/06 Z ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 11/105 546 Z ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

4K029BD11 ,  4K029BD12 ,  4K029KA02 ,  4K029KA09 ,  5D075GG20 ,  5D112AA02 ,  5D112GA17 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA19 ,  5F031FA20 ,  5F031MA04 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-226048
  
• カセットチャンバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-231729   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開平4-226048