ディスク基板の離脱装置及びその離脱方法並びにディスク基板の成形装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-008011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-203736
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】爪部が基板から離脱することなく、ディスク基板を原盤から剥離させようとしたとき、そのディスク基板に損傷を与え難い離脱装置を提供することにある。【解決手段】基台11の上に吸着保持された原盤12の上に図示しない樹脂層を介してディスク基板が固着されている。回動軸16aを中心に回動可能に構成された可動部材15はディスク基板に吸着し、カム21の回転により上方へと開くように回動する。このとき、可動部材15の先端部に取付けられた係止部材18の先には係止爪が設けられ、この係止爪がディスク基板の最先に剥離される端縁部に当接している。係止部材18の係止爪がディスク基板14を離脱するときに同期して、圧縮空気供給装置33から圧縮空気が吸気口20を介して離脱補助力提供手段に供給されるので、離脱を容易にしている。

請求項（抜粋）：

所定の表面形状に加工された原盤とディスク基板とを成形材を介して貼り合わせ、該成形材を硬化させた後に前記ディスク基板の表面上に前記成形材を残した状態で前記ディスク基板を前記原盤から離脱させるためのディスク基板の離脱装置において、前記ディスク基板を前記原盤から離脱させる際に当該ディスク基板を把持する把持手段と、さらにこの際に前記ディスク基板に前記原盤から離れる方向に補助力を提供する補助力提供手段と、を備えるディスク基板の離脱装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 521 , G11B 5/84

FI (2件)：

G11B 7/26 521 , G11B 5/84 Z

引用特許：

審査官引用 (13件)

ディスク基板の剥離方法及び剥離機構並びにディスク基板の成形装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-057935 出願人：セイコーエプソン株式会社
光ディスク製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184788 出願人：ソニー株式会社
特開昭58-122828

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