特許
J-GLOBAL ID:200903054200032916
半導体レーザ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 精孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-009858
公開番号(公開出願番号):特開平9-205246
出願日: 1996年01月24日
公開日(公表日): 1997年08月05日
要約:
【要約】【課題】 p型基板上に作成可能な、極めて特性の優れた半導体レーザを提供すること。【解決手段】 p型GaAs基板21上にMOCVD法によって炭素ドープ、キャリア濃度1×1018cm2 程度の5対のp型AlAs/GaAs超格子層(交互層)22を形成し、さらにクラッド層23、活性層24、クラッド層25、コンタクト層26を順次形成し、最後にn電極28及びp電極29を形成することにより、成長中に基板から拡散するZnをp型AlAs/GaAs超格子層22で捕獲させ、特性劣化を防ぐ。
請求項(抜粋):
p型GaAs基板もしくはp型AlGaAs基板上に作成される半導体レーザにおいて、半導体レーザを構成する結晶層のうち最も基板に近い層と基板との間に、数対のAl<SB>x </SB>Ga<SB>1-x </SB>As/AlAs(0≦x<1)からなる交互層を設けるとともに、該交互層におけるp型ドーパントとして炭素を用いたことを特徴とする半導体レーザ。
引用特許:
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