特許
J-GLOBAL ID:200903054200066624
固体撮像素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-317106
公開番号(公開出願番号):特開2000-232217
出願日: 1999年11月08日
公開日(公表日): 2000年08月22日
要約:
【要約】【課題】 3層の転送電極で4相駆動の全画素読み出し方式等に適用される固体撮像素子において、転送電極の加工ばらつきにかかわらず2相分の各転送領域の蓄積電荷容量の均一化、受光部面積の増大化等を図る。【解決手段】 マトリックス状に配列された複数の受光部22と、各受光部列に対応して3層の転送電極28〔28A〜28D〕で4相駆動の垂直転送レジスタ23を備え、第1層目の転送電極28A,28Cが電荷転送方向aに沿って1つ置きに配列され、受光部22間で第1層目の転送電極28A,28Cが並列して形成されて成る。
請求項(抜粋):
マトリックス状に配列された複数の受光部と、該各受光部列に対応して3層の転送電極で4相駆動する垂直転送レジスタを備え、第1層目の前記転送電極が電荷転送方向に沿って1つ置きに配列されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
, H04N 5/335 U
引用特許:
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