特許
J-GLOBAL ID：200903054211587979
加工装置におけるチャックテーブルの加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154199
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340324
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】 チャックテーブルの保持面と切削工具との間隔を保持面の全領域に渡って均一することができる加工装置におけるチャックテーブルの加工方法を提供する。【解決手段】 板状物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルを移動せしめるチャックテーブル移動機構と、チャックテーブルに保持された板状物の表面に突出して形成された複数個の電極を切削し高さを揃える切削工具を備えた切削ユニットと、切削ユニットをチャックテーブルの保持面と垂直な方向に進退せしめる切削ユニット送り機構とを具備する加工装置におけるチャックテーブルの加工方法であって、チャックテーブルを加工領域に移動しチャックテーブルの保持面を切削ユニットの切削工具によって切削加工する。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
被加工物搬入・搬出域と加工域との間を移動可能に構成され板状物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルを被加工物搬入・搬出域と加工域に移動せしめるチャックテーブル移動機構と、加工域に配設され該チャックテーブルに保持された板状物の表面に突出して形成された複数個の電極を切削し高さを揃える切削工具を備えた切削ユニットと、該切削ユニットを該チャックテーブルの該保持面と垂直な方向に進退せしめる切削ユニット送り機構と、を具備する加工装置におけるチャックテーブルの加工方法であって、
該チャックテーブルを該加工領域に移動し、該チャックテーブルの該保持面を該切削ユニットの該切削工具によって切削加工する、
ことを特徴とする加工装置におけるチャックテーブルの加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/92 604L
, B23C3/00
