特許
J-GLOBAL ID:200903054235792484
炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-081590
公開番号(公開出願番号):特開2007-027087
出願日: 2006年03月23日
公開日(公表日): 2007年02月01日
要約:
【課題】本発明は、基板材料の選択範囲が広く、フィールドエミッタの均一性が良好で、炭素ナノチューブの利用効率が高い炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタは、基板と、該基板に成長された複数の炭素ナノチューブのマトリックスのシートと、を含む。前記炭素ナノチューブのマトリックスのシートは、第一端部及び該第一端部に対向する第二端部を有する。前記第一端部は炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタの電子放出端部として、前記基板から離れるように設置される。前記第二端部は、前記基板に電気的に接続される。本発明は、炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタの製造方法も提供する。【選択図】図7
請求項(抜粋):
基板と、
該基板に成長された炭素ナノチューブのマトリックスのシートと、を含み、
前記炭素ナノチューブのマトリックスのシートは、第一端部及び該第一端部に対向する第二端部を有し、
前記第一端部は、炭素ナノチューブのマトリックスを利用するフィールドエミッタの電子放出端部として前記基板から離れるように設置され、
前記第二端部は、前記基板に電気的に接続されることを特徴とする炭素ナノチューブを利用するフィールドエミッタ。
IPC (3件):
H01J 1/304
, C01B 31/02
, H01J 9/02
FI (3件):
H01J1/30 F
, C01B31/02 101F
, H01J9/02 B
Fターム (27件):
4G146AA11
, 4G146AD28
, 4G146AD29
, 4G146BA04
, 4G146CB07
, 4G146CB29
, 5C127AA01
, 5C127AA06
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127DD62
, 5C127DD69
, 5C127DD90
, 5C127EE01
, 5C127EE04
, 5C127EE15
, 5C135AA09
, 5C135AA15
, 5C135AB07
, 5C135AC01
, 5C135FF18
, 5C135FF20
, 5C135HH02
, 5C135HH04
, 5C135HH15
引用特許:
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