薄膜発光素子及び発光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079594
公開番号（公開出願番号）：特開平7-262801
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】白色のフォトルミネセンス光を発光する薄膜型の素子を得る。【構成】 RFマグネトロン型ECRスパッタ装置を用い、そのターゲットをpure Zn金属とし、雰囲気ガスをAr+O2ガスとし、230°Cに加熱したR面サファイア基板の表面に71Å/minの成膜速度で980Åの膜厚にZnOエピタキシャル膜を成長させた。ZnOエピタキシャル膜を1.8°Kに冷却した状態で、出力パワー1mWのHe-Cdレーザー光を照射すると、白色のフォトルミネセンス光が観測された。

請求項（抜粋）：