特許

J-GLOBAL ID：200903054252279642

検査方法、検査システムおよび電子デバイスの製造方法

発明者： 池田 洋子 ,  小西 潤子 ,  岩田 尚史 ,  高木 裕治 ,  小原 健二 ,  中垣 亮 ,  磯貝 静志 ,  小沢 康彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341991
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162135
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、ユーザインターフェースの改善によって、解析時間の短縮および解析精度を向上することにある。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたものである。

請求項（抜粋）：

ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたこと特徴とする検査システム。

IPC (3件)：

G01N 21/84 ,  G06F 3/00 651 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01N 21/84 Z ,  G06F 3/00 651 A ,  G06F 15/62 400

Fターム (19件)：

2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051EA14 ,  2G051ED12 ,  2G051ED21 ,  5B057BA23 ,  5B057CD02 ,  5B057CH11 ,  5B057DA12 ,  5E501AA02 ,  5E501AC02 ,  5E501AC37 ,  5E501BA01 ,  5E501BA20 ,  5E501CB09 ,  5E501EA08 ,  5E501EA13 ,  5E501EB20 ,  5E501FA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 欠陥検出用顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-016218   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 画像処理装置及び画像処理方法並びに記憶媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-036366   出願人：キヤノン株式会社