静電気アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295691
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147786
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】低電圧により移動体を高速でスムーズに移動させることができる静電気アクチュエータを提供することを目的としている。【構成】複数の電極(21-1〜21-12 )が形成された滑走面(34)を有する支持ブロック(20)と、該支持ブロック(20)の滑走面(34)に接する強誘電体層(12)を有する移動体(33)とを備え、該強誘電体層(12)の滑走面(34)に接する面に、所定の極性パターンを有する残留電気分極による分極電荷の分布エリアが支持ブロック(20)の滑走面(34)上の電極(21-1〜21-12 )に対応するように形成され、電圧が印加される電極21-1〜21-12 と強誘電体層(12)における分極電荷の分布エリアとの間の静電力により移動体(33)が支持ブロック(20)の滑走面(34)上を移動するようにした。

請求項（抜粋）：

所定の間隔で配列された複数の電極(21-1〜21-12 )が形成された面(34)を有する支持体(20)と、強誘電体層(12,112)を有する移動体(33)とを備え、該強誘電体層(12,112)の表面に、所定の極性パターンを有する残留電気分極による分極電荷の分布エリアが支持体(20)上の電極(21-1〜21-12 )に対応するように形成され、上記電極(21-1〜21-12 )に印加する電圧の極性パターンの切換えに基づいた電極(21-1〜21-12 )と強誘電体層(12,112)における分極電荷の分布エリアとの間の静電吸引力及び静電反発力の変化により移動体(33)が支持体(20)の電極形成面(34)上を移動するようにした静電気アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-008181
特開平4-308480
特開平2-307377

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