特許

J-GLOBAL ID：200903054295703626

磁気シールドHEPAフィルタおよびこれを用いた磁気シールドルーム

発明者： 関口 猛 ,  露木 茂和 ,  中山 隆純 ,  石川 敏行 ,  向山 澄夫 ,  澁谷 紳一 ,  石川 登 ,  長田 耕治 ,  石田 勉
出願人/特許権者： 清水建設株式会社
代理人 (1件)： 柳田 良徳 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-085298
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288688
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】既存のクリーンルームに対しても磁気シールド化を柔軟にかつ容易に対応させるようにする。【構成】磁気シールドHEPAフィルタ1は、矩形断面の角筒状のフィルタフレーム2、このフィルタフレーム2内に蛇行状に何重にも折り重ねられて配設されたガラス繊維製ろ材シート3およびこのろ材シート3の折り重ねられた部分の間に配設されたセパレータ4から構成されている。フィルタフレーム2およびセパレータ4は、それぞれパーマロイや珪素鋼板等の平板状の磁気シールド材から形成されていて、それ自体磁気シールド材化されている。これにより、磁気シールドHEPAフィルタ1は、それ自体で磁気シールド機能を有している。

請求項（抜粋）：

磁気シールド材化された筒状のフィルタフレームと、このフィルタフレームにその内部に位置して取り付けられ、空気に混在している微妙な異物を捕獲するろ材と、前記フィルタフレームにその内部に位置してスリットを形成するように取り付けられ、磁気シールド材化されたセパレータとからなることを特徴とする磁気シールドHEPAフィルタ。

IPC (4件)：

H05K 9/00 ,  B01D 46/52 ,  B01D 46/54 ,  F24F 7/06

FI (6件)：

H05K 9/00 T ,  H05K 9/00 H ,  H05K 9/00 N ,  B01D 46/52 Z ,  B01D 46/54 ,  F24F 7/06 C

引用特許：

出願人引用 (9件)

• 特開平2-164412
  
• 磁気シールドルーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-028833   出願人：清水建設株式会社
• 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-123829   出願人：清水建設株式会社
• 電磁波シールド室
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-115655   出願人：日立プラント建設株式会社
• 特開平2-192534
  
• 特開昭63-305908
  
• 特開平4-290510
  
• 特開平3-291437
  
• 特開平4-157797
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-164412
  
• 磁気シールドルーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-028833   出願人：清水建設株式会社
• 磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-123829   出願人：清水建設株式会社
• 電磁波シールド室
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-115655   出願人：日立プラント建設株式会社