特許
J-GLOBAL ID：200903054301870190

液晶表示装置とその製造方法

発明者：
湯田坂 一夫

湯田坂 一夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316969
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168203
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 コンタクトホール開口時のエッチング終点の検出を容易にする。【構成】 基板周辺乃至パネル周辺部にコンタクトホールと同一構造のダミー領域を設け、エッチング終点の検出を容易にする。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上に、複数のゲート線と、複数のソース線と、それらの交点に形成される複数の薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタのソース電極が前記ソース線と接続される第1のコンタクトホールと、該薄膜トランジスタのドレイン電極が画素電極と接続される第2のコンタクトホールと、を構成要素に含む液晶表示装置に於いて、前記第1のコンタクトホールを形成するためのエッチング工程では前記第1のコンタクトホールと第1のダミー領域を同時にエッチングし、且つ前記第2のコンタクトホールを形成するためのエッチング工程では前記第2のコンタクトホールと第2のダミー領域を同時にエッチングすることを特徴とする液晶表示装置とその製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786
引用特許：
出願人引用 (3件)

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