特許
J-GLOBAL ID:200903054303342700

液体金属アノードを有するX線発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-575401
公開番号(公開出願番号):特表2005-519449
出願日: 2003年02月19日
公開日(公表日): 2005年06月30日
要約:
本発明はX線(31)発生装置に関する。装置は真空空間(3)に収められた電子(27)放射源(5)を有する。X線は電子入射の結果、液体金属によって放射される。液体金属は放射源から放射された電子が液体金属に衝突する場所である狭窄部(13)を流れる。狭窄部は電子とX線を通す材料からなる薄窓(23)によって仕切られており、この窓は真空空間から狭窄部の液体金属を隔離している。本発明によると主流方向(X)で見たとき、狭窄部(13)は、運転中、前記方向において生じる流速低下のため、粘性流損失により生じた前記方向での狭窄部における液体金属の圧力低下が、前記流速増大の結果ベルヌイ効果によって生じた前記方向での前記圧力増大に実質上一致するように、増大された断面積を有している。結果として、狭窄部における液体金属圧力は狭窄部全体を通じて均一で比較的低いレベルに維持され、それによって窓には運転中、均一で比較的小さな機械的負荷しかからない。このようにして窓の変形や窓の破損の危険性を著しく抑制できる。
請求項(抜粋):
真空空間に収められた電子放射源と、電子入射の際X線を放射する液体金属と、前記放射源から放射された電子が液体金属に衝突する狭窄部を通る液体金属流を生じさせるポンプ式手段と、を有するX線発生装置であって、電子とX線を通す、前記真空空間と前記狭窄部を隔離する窓によって、仕切られた前記狭窄部が、流れ方向で見たとき、運転中、前記方向において生じる流速低下により、粘性流損失により生じる前記狭窄部での液体金属の圧力低下を、前記流速低下によって生じる前記圧力増加と実質上、一致させるように、増大された断面積を有することを特徴とする、X線発生装置。
IPC (3件):
H01J35/12 ,  H01J35/08 ,  H05G2/00
FI (3件):
H01J35/12 ,  H01J35/08 C ,  H05G1/00 J
Fターム (2件):
4C092AA02 ,  4C092BD05
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第6185277-B1号明細書
審査官引用 (6件)
  • 液体金属タ-ゲットを有するX線源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-131444   出願人:コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
  • 特開昭63-164199
  • 特開昭63-231850
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引用文献:
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