特許
J-GLOBAL ID:200903054307899254
マルチビーム露光ヘッドおよびマルチビーム露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 望稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-366850
公開番号(公開出願番号):特開2002-169113
出願日: 2000年12月01日
公開日(公表日): 2002年06月14日
要約:
【要約】【課題】2段階層構造の光ファイバーアレイを用いて、光学系の結像倍率を殆ど変えずに、所望の解像度で画像の露光記録を行うマルチビーム露光ヘッドおよびマルチビーム露光装置を提供することを課題とする。【解決手段】2段階層構造の光ファイバーアレイの1層目のマルチビーム形成光源部の複数のビーム出射口が、2層目のマルチビーム形成光源部のビーム出射口の並列配置方向と平行に所定間隔離れて配置されるともに、2層目のマルチビーム形成光源部の一端のビーム出射口の位置が、1層目のマルチビーム形成光源部の同じ側の端のビーム出射口の位置に対して、前記並列配置方向にずれている、マルチビーム光源部を形成することによって前記課題を解決する。
請求項(抜粋):
主走査される記録材料を露光する光源部であって、複数のビーム出射口が所定の配列間隔をあけて並列配置される第1のマルチビーム形成光源部と、複数のビーム出射口が前記配列間隔をあけて並列配置される第2のマルチビーム形成光源部とを備え、前記第2のマルチビーム形成光源部の複数のビーム出射口が、前記第1のマルチビーム形成光源部のビーム出射口の並列配置方向と平行に所定間隔離れて配置されるともに、前記第2のマルチビーム形成光源部の一端のビーム出射口の位置が、前記第1のマルチビーム形成光源部の同じ側の端のビーム出射口の位置に対して、前記並列配置方向にずれている、マルチビーム光源部を有することを特徴とするマルチビーム露光ヘッド。
IPC (9件):
G02B 26/10
, B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G03F 7/20 511
, G03F 7/24
, H04N 1/036
, H04N 1/113
, H04N 1/06
FI (7件):
G02B 26/10 B
, G03F 7/20 511
, G03F 7/24 G
, H04N 1/036 A
, H04N 1/06
, B41J 3/21 L
, H04N 1/04 104 Z
Fターム (33件):
2C162AE23
, 2C162AE37
, 2C162AF57
, 2C162FA04
, 2C162FA18
, 2C162FA48
, 2C162FA50
, 2C162FA53
, 2C162FA70
, 2H045AG09
, 2H045BA33
, 2H045DA24
, 2H097AA03
, 2H097AA16
, 2H097AB08
, 2H097BB01
, 2H097CA03
, 2H097CA17
, 2H097LA03
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB25
, 5C051DB30
, 5C051DC05
, 5C051DC07
, 5C051DE24
, 5C051EA01
, 5C072AA03
, 5C072HA02
, 5C072HA06
, 5C072HA08
, 5C072JA07
, 5C072QA14
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
マルチビーム露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-189240
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
前のページに戻る