特許

J-GLOBAL ID：200903054346411676

プラズマイオン質量分析装置及びプラズマイオン質量分析方法

発明者： 大石 公之助 ,  奥本 豊治 ,  塚田 正道 ,  飯野 敬史
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245039
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111204
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、紫外線及び中性粒子に起因するバックグランドノイズを少なくし、質量分析の検出精度を向上させることにある。【構成】上記目的を達成するために、本発明では、分析試料をプラズマ発生部7によりプラズマイオン化し、このイオン化された試料の通過を遮へい板23にょり所定時間後遮断し、イオントラップ型質量分析部18によりイオン化試料を所定時間保持し、その後、イオン化試料を質量分析するようにした。【効果】試料イオンを保持している間に、紫外線は消滅するので、その結果、試料イオンのみが保持されることとなり、これにより、紫外線が排除され、試料イオンのみを質量分析するので、バックグランドノイズが減少し、質量分析の検出精度が向上する。

請求項（抜粋）：

分析試料をプラズマによりイオン化するプラズマイオン源と、前記イオン化された試料を質量分析する質量分析部を備えたプラズマイオン質量分析装置において、前記プラズマイオン源からのイオン化された試料の通過を所定時間の後遮断する手段と、前記遮断の後所定時間前記イオン化された試料を保持する手段を備え、前記保持手段からのイオンを質量分析することを特徴とするプラズマイオン質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/26 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマイオン化質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-107573   出願人：株式会社島津製作所
• 高周波誘導結合プラズマ質量分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-035949   出願人：横河電機株式会社
• 特開昭62-044947
  
• 特開平1-163954