特許
J-GLOBAL ID：200903054366135870
チャンバー内の環境全体の制御を必要とする操作が達成される装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-543046
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514062
出願日： 2001年11月06日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
本発明は、装置の最適化であって、操作は、チャンバー(3)の内側の環境全体の制御を必要とする操作が達成される。操作は、放出物を放射することの可能なガス混合物の存在において達成される。最適化は、チャンバー内への空気の進入とガス放出物の退出に対抗するために、チャンバーの外側の入口装置(5)と出口装置(8)との存在によって得られる。抽出装置(4)は、チャンバーの内側と外側での圧力差をほぼ零に維持するために、流れ率を調整するための手段(42)を備えている。走行する基質の表面処理用の装置である。
請求項（抜粋）：
チャンバー(3)内の環境全体の制御を必要とする操作が達成される装置であって、操作は、放出物を放射することを可能にするガス混合物の存在によって達成され:
-空気のチャンバー内への進入とガスのそこからの退出とに各対抗するためにチャンバーに隣接する入口装置および出口装置(5、8)と;
-チャンバー内に開口したダクトを有する抽出装置(4)と;および
-チャンバーの内側と周囲の環境との間の圧力差をほぼ零に維持するように、前記抽出装置によって引き出されたガスの流れ率を調整する手段(42......)と;
を備えたことを特徴とする装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030EA06
, 4K030FA03
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA12
, 4K030KA39
, 4K030KA41
