特許

J-GLOBAL ID：200903054380221240

放電処理装置及び放電処理方法

発明者： 川部 雅章
出願人/特許権者： 日本バイリーン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-316340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288777
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 効率の良い放電処理装置及び放電処理方法を提供すること。【解決手段】 本発明の放電処理装置は、放電極、この放電極と対向して設置された対電極、この対電極上に設置された誘電体、及びこれら電極間に両極性かつ電圧休止期間を有しない矩形波パルス単位を含むパルスを印加できる装置、を備えている。本発明の放電処理方法は、上記の放電処理装置の放電極及び誘電体の近傍に被処理物を供給し、電極間に両極性かつ電圧休止期間を有しない矩形波パルス単位を含むパルスを印加する方法である

請求項（抜粋）：

放電極、この放電極と対向して設置された対電極、この対電極上に設置された誘電体、及びこれら電極間に両極性かつ電圧休止期間を有しない矩形波パルス単位を含むパルスを印加できる装置、を備えていることを特徴とする放電処理装置。

IPC (6件)：

H01T 15/00 ,  B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  H01T 19/00 ,  C08J 7/00 303 ,  D06M 10/02

FI (6件)：

H01T 15/00 Z ,  B01J 19/08 C ,  C01B 13/11 H ,  H01T 19/00 ,  C08J 7/00 303 ,  D06M 10/02 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-160806
  
• 放電反応装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-120868   出願人：株式会社荏原製作所
• プラズマ化学反応装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-196455   出願人：株式会社東芝