露光装置及びデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233399
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】照明系の信頼性向上やメンテナンス頻度の低減などを達成した優れた露光装置を提供すること。【解決手段】可変ブラインドやズーム光学系などの可動部を有する照明系において、該可動部の駆動機構は気体軸受もしくは磁気軸受などの非接触型軸受と、非接触型モータの少なくとも一方を有する。照明系の周囲は所定の気体雰囲気とされ、可動部は該所定の気体雰囲気内に置かれる。

請求項（抜粋）：