特許
J-GLOBAL ID：200903054485169006

マイクロレンズアレイの製造方法、液晶表示素子及び投射装置

発明者：
貝瀬 喜久夫

貝瀬 喜久夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-168013
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012941
出願日： 2002年06月10日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】ガラスなどからなる担体層を不要としつつ面精度及び平坦性に優れたマイクロレンズアレイの製造方法を提供する。【解決手段】先ずパタニング工程を行ない、透明な基板1の上に配された第一の屈折率を有する第一光学樹脂層2の表面に、二次元的に配された複数のマイクロレンズ面を形成する。次に平坦化工程を行ない、マイクロレンズ面の凹凸を第二の屈折率を有する樹脂で埋め且つその表面を平坦化して第二光学樹脂層6を形成する。更に接合工程を行ない、平坦化された第二光学樹脂層6に対し、あらかじめ透明な保護膜3が形成された担体層4を接合する。最後に除去工程を行ない、担体層4を除去して第二光学樹脂層6の上に保護膜3のみを残す。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明な基板の上に配された第一の屈折率を有する第一光学樹脂層の表面に、二次元的に配された複数のマイクロレンズ面を形成するパタニング工程と、 該マイクロレンズ面の凹凸を、第二の屈折率を有する樹脂で埋め且つその表面を平坦化して第二光学樹脂層を形成する平坦化工程と、 平坦化された該第二光学樹脂層に対し、あらかじめ透明な保護膜が形成された担体層を接合する接合工程と、 該担体層を除去して該第二光学樹脂層の上に該保護膜のみを残す除去工程とを行なう マイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (5件)：
G02B3/00 ,  B29C39/10 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1335 ,  G03B21/00
FI (5件)：
G02B3/00 A ,  B29C39/10 ,  G02F1/13 505 ,  G02F1/1335 ,  G03B21/00 E
Fターム (39件)：
2H088EA14 ,  2H088EA15 ,  2H088EA18 ,  2H088FA19 ,  2H088HA25 ,  2H088MA20 ,  2H091FA29X ,  2H091FA29Z ,  2H091FB04 ,  2H091FC18 ,  2H091FC19 ,  2H091FC23 ,  2H091FD03 ,  2H091FD06 ,  2H091FD15 ,  2H091GA13 ,  2H091LA02 ,  2H091LA04 ,  2H091MA07 ,  2K103AA05 ,  2K103AA16 ,  2K103AB10 ,  2K103BB03 ,  2K103BC26 ,  2K103BC27 ,  2K103CA18 ,  2K103CA26 ,  4F204AD05 ,  4F204AD24 ,  4F204AG03 ,  4F204AH74 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EB22 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05 ,  4F204EF27 ,  4F204EK17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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