特許

J-GLOBAL ID：200903054503628897

大型ペリクル収納容器

発明者： 栗山 芳真 ,  脇元 一郎
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (3件)： 中川 周吉 ,  中川 裕幸 ,  飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-283891
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049765
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】 本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、特に真空成形を用いて製造した容器であっても、洗浄性を損なわずに剛性を向上させることのできるペリクル収納容器を提供することを目的としている。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明の代表的な構成は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイに補強板を取り付けたことを特徴とする。これによりケースの変形を防止することが可能となり、ペリクルの粘着剤や枠体が変形することを防止することができる。またリブを設ける必要がないため凹凸がなく、洗浄効果が向上する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、 ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、 前記トレイまたは蓋の少なくとも一方に補強板を取り付けたことを特徴とする大型ペリクル収納容器。

IPC (2件)：

G03F1/14 ,  B65D85/86

FI (2件)：

G03F1/14 J ,  B65D85/38 R

Fターム (16件)：

2H095BC31 ,  2H095BC39 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096CC02 ,  3E096DA08 ,  3E096DB06 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06Y ,  3E096FA20 ,  3E096GA05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特公昭54-28718号公報
  
• マスク保護装置の収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-202407   出願人：三井石油化学工業株式会社
• ペリクル収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-342552   出願人：旭化成電子株式会社
• ペリクル容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-010450   出願人：信越化学工業株式会社

審査官引用 (2件)

• ペリクル容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-010450   出願人：信越化学工業株式会社
• ペリクル収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-342552   出願人：旭化成電子株式会社