特許
J-GLOBAL ID：200903054524012187
トラップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153706
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334235
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課題】必要な流量コンダクタンスを確保しつつ長期間にわたってトラップ効果を維持するトラップ装置【解決手段】ガス流入口18およびガス流出口28を開口させた外筒部材12と、この外筒部材内に配置され、外筒部材との間に環状のガスチャンネルを形成する内筒部材24と、外筒部材12の内周側からガスチャンネル内に突出し、ガス流入口18からガス流出口28にガス流を案内する複数の外側フィン48と、内筒部材24の外周側からガスチャンネル内に突出し、ガス流を攪拌する複数の内側フィン46とを備え、これらの外側フィン48は、それぞれ内側フィン46と交差する面に沿いかつ内側フィンの半径方向外側に配置されるトラップ装置。
請求項（抜粋）：
反応性ガス中での成膜処理と反応性ガス中での食刻処理とイオン性ガス中でのイオン注入処理との少なくともひとつの処理を被処理部材に施す気密チャンバからの排気系に介挿され、内部を流通する排気ガス中の粉体とミストと凝縮性ガスとの少なくともひとつを捕捉するトラップ装置であって、ガス流入口およびガス流出口を開口させた外筒部材と、この外筒部材内に配置され、外筒部材との間に環状のガスチャンネルを形成する内筒部材と、前記外筒部材の内周側からガスチャンネル内に突出し、ガス流入口からガス流出口にガス流を案内する複数の外側フィンと、内筒部材の外周側からガスチャンネル内に突出し、ガス流を攪拌する複数の内側フィンとを備え、前記外側フィンは、それぞれ内側フィンと交差する面に沿いかつ内側フィンの半径方向外側に配置されるトラップ装置。
Fターム (3件)：
4D031AB01
, 4D031BA10
, 4D031BB04
