特許
J-GLOBAL ID：200903054549060151
機能性被膜の部分除去法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329257
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146439
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】基板表面に被覆された機能性被膜の一部分を効率よく除去すること。【解決手段】基板表面に有機化合物よりなる塗布液を塗布し硬化させて機能性被膜を形成したのち、該被膜の膜除去部以外の部分に紫外線が照射されないように遮光板を設け、該被膜の膜除去部に紫外線を照射することにより膜除去部の機能性被膜を分解・除去する。
請求項（抜粋）：
下記の工程よりなることを特徴とする機能性被膜の部分除去法。(1)基板表面に有機化合物よりなる塗布液を塗布し硬化させて機能性被膜を形成する工程、(2)該被膜の膜除去部以外の部分に紫外線が照射されないようにしたのち、該被膜の膜除去部に紫外線を照射することにより膜除去部の機能性被膜を分解・除去する工程。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03C 17/28 Z
, C03C 17/30 B
4G059AA01
, 4G059AB07
, 4G059AC22
, 4G059FA05
, 4G059FB03
