オプトエレクトロニクスデバイス及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-334369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202350
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】光送信器としてのレーザチップと、このレーザチップ内に作られた光の規定された放射を行うためのレンズ結合光学素子とを備えたオプトエレクトロニクスデバイスにおいて、レーザチップの直ぐ前に配置されたレンズ結合光学素子を簡単に調整しかつ安定に固定できるようにし、しかもデバイスをウェハアレイで経済的に製造できるようにする。【構成】レーザチップ1は、その共振器面に隣接する側面がミラー膜5を備えかつ共振器面に対して45°の角度で傾斜する支持体部材3、4間で共通支持体2上に配置され、それによりレーザチップ1内に作られた光が共通支持体2の上面に対してほぼ垂直に上方へ向けられ、少なくとも一方の支持体部材3上にはレンズ結合光学素子6がレーザチップ1内に作られた光がこのレンズ結合光学素子6にほぼ垂直に当たるように配置されて固定される。

請求項（抜粋）：

光送信器としてのレーザチップと、このレーザチップ内に作られた光の規定された放射を行うためのレンズ結合光学素子とを備えたオプトエレクトロニクスデバイスにおいて、レーザチップ(1)は、このレーザチップ(1)の共振器面に隣接する側面がミラー膜(5)を備えかつ共振器面に対して45°の角度で傾斜する2つの支持体部材(3、4)間で共通支持体(2)上に配置され、それによりレーザチップ(1)内に作られた光が共通支持体(2)の上面に対してほぼ垂直に上方へ向けられ、少なくとも一方の支持体部材(3)上にはレンズ結合光学素子(6)がレーザチップ(1)内に作られた光がこのレンズ結合光学素子(6)にほぼ垂直に当たるように配置されて固定されることを特徴とするオプトエレクトロニクスデバイス。

IPC (2件)：

H01S 3/18 , H01L 33/00

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平1-136391
特開昭61-243964
特開昭63-079667

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審査官引用 (18件)

特開平4-162687
特開平1-136391
特開昭61-243964

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