特許
J-GLOBAL ID：200903054605481440
ストッカ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148772
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343846
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：
【要約】【課題】 吹き降ろされるクリーンエアが、上下どの段の保管部にも万遍なく入るようにして、いずれの保管部でもクリーンルーム機能が発揮できるように改善されたストッカを提供する。【解決手段】 ウェハー用カセット3を載置する保管部2aが上下複数段積層された保管棚2と、保管棚2に対して背面側に位置する背側壁10と、天井壁9から下に向けて噴出される清澄用の風を送風口12を経て前記保管棚2と前記背側壁10との間の空間部21に導くストッカにおいて、前記保管部2内に風を取込むための流通孔20を前記保管棚2の背面に形成し、前記送風口12から前記空間部21を下方に流れる風の量を調整する調整手段22を装備する。
請求項（抜粋）：
保管対象を載置する保管部が上下に複数段積層されて成る保管棚と、前記保管棚に対して背面側に位置する背側壁と、天井壁から下に向けて噴出される清澄用の風を送風口を経て前記保管棚と前記背側壁との間の空間部に導くストッカであって、前記保管部内に風を取込むための流通孔を前記保管棚の背面に形成し、前記送風口から前記空間部を下方に流れる風の量を調整する調整手段を装備してあるストッカ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 521
, B65G 49/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 521 D
, B65G 49/00 A
, B65G 49/07 C
3F022AA08
, 3F022BB09
, 3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF01
, 3F022JJ09
, 3F022KK20
, 5F031CA02
, 5F031DA17
, 5F031NA03
, 5F031NA16
, 5F031NA18
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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