特許
J-GLOBAL ID：200903054614458460
ペリクル粘着層保護用ライナーおよびこれを具備するペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258896
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができ、かつペリクルの粘着層に高い貼り付け位置精度でライナーを貼り付けることができ、さらにライナーを貼り付けた後の粘着層上の異物等の検査も可能なペリクル粘着層保護用ライナーおよびこのライナーを具備するペリクルを提供することを主目的とするものである。【解決手段】 光線透過率が、1.0%〜85%であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーである。
請求項（抜粋）：
光線透過率が、1.0%〜85%であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
