特許
J-GLOBAL ID:200903054631225290

光源装置とそれに使用する光量モニタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 澤野 勝文 ,  川尻 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-189404
公開番号(公開出願番号):特開2005-233927
出願日: 2004年06月28日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】 ランプ光量に起因する照射光量変化があっても、光量分布パターンの変化に起因する照射光量変化があっても、これを正確に検出して、照射光量を一定に維持できるようにすることを課題としている。【解決手段】 ランプ(4)の光を反射鏡(5)で集光して光出射口(6)から出射させ、直接的又は間接的に被照射物に対し照射する際に、被照射物に照射される光の照射光量を検出する光量モニタ(M)と、その検出光量に応じて照射光量をフィードバック制御する光量コントローラ(7)を備えた光源装置(1)において、光量モニタ(M)が、反射鏡(5)で集光された光を光出射口(6)に導く光路となる導光ロッド(8)と、その導光ロッド(8)の周面(8a)からの漏光量を照射光量として検出する光センサ(9)とを備えた。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ランプの光を反射鏡で集光して光出射口から出射させ、直接的又は間接的に被照射物に対し照射する際に、被照射物に照射される光の照射光量を検出する光量モニタと、その検出光量に応じて照射光量をフィードバック制御する光量コントローラを備えた光源装置において、 前記光量モニタが、反射鏡で集光された光を光出射口に導く光路となる導光ロッドと、その導光ロッドの周面からの漏光量を前記照射光量として検出する光センサとを備えたことを特徴とする光源装置。
IPC (4件):
G01J1/00 ,  F21V7/08 ,  F21V8/00 ,  F21V9/10
FI (4件):
G01J1/00 F ,  F21V7/08 ,  F21V8/00 L ,  F21V9/10 B
Fターム (21件):
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051AB12 ,  2G051BB17 ,  2G051BC10 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G065AA03 ,  2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065AB27 ,  2G065BA01 ,  2G065BB03 ,  2G065BB05 ,  2G065BB12 ,  2G065BB13 ,  2G065BB20 ,  2G065BB24 ,  2G065BC21 ,  2G065DA05
引用特許:
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る