特許

J-GLOBAL ID：200903054636501563

チタン・タングステン合金のエッチング方法およびエッチャント溶液

発明者： ローレンス・ディー・デイビッド ,  リサ・エイ・ファンティ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298186
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219946
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 保護された金属の存在下で、金属薄膜を湿式化学エッチングするための方法、およびエッチャント溶液を提供する。【解決手段】 このエッチャント溶液は、pHが約2.7ないし4.0の範囲である。このエッチャント溶液は、過酸化水素、硫酸カリウム、およびEDTAカリウムを含有し、保護された金属に損傷を与えることなく、耐エッチング性の金属が出現することを減少または排除する。

請求項（抜粋）：

過酸化水素、硫酸カリウム、およびEDTAカリウムを含有し、pHが約2.7ないし約4.0であるエッチャント溶液に金属皮膜を接触させることを含む、基板上の保護された金属の存在下で、金属皮膜の湿式エッチングを行う方法。

IPC (3件)：

H01L 21/308 ,  C23F 1/26 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H01L 21/308 F ,  C23F 1/26 ,  H01L 21/306 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• C4製造のためのTiWの選択的エッチング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-147732   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特開昭52-064871