特許

J-GLOBAL ID：200903054718899352

パーフロロカーボン類測定装置

発明者： 中野 信夫 ,  濱田 健二
出願人/特許権者： 理研計器株式会社 ,  松下電子工業株式会社
代理人 (2件)： 木村 勝彦 (外1名) ,  西川 慶治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220721
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041863
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 パーフルオロポリエーテルの有無に関わり無く、管理濃度程度のパーフロロカーボン類を高い精度で測定すること。【解決手段】 第1の反応炉1と、気体水洗手段2と、冷却除湿手段9と、第2の反応炉11と、酸性ガス検出手段12とを直列に接続するともに、第1の反応炉1の加熱温度をパーフルオロポリエーテルの熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない第1の温度に、また第2の反応炉11の加熱温度をパーフロロカーボン類が熱分解する第2の温度に設定する。

請求項（抜粋）：

第1の反応炉と、気体水洗手段と、冷却除湿手段と、第2の反応炉と、酸性ガス検出手段とを直列に接続するともに、第1の反応炉の加熱温度をパーフルオロポリエーテルの熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない第1の温度に、また第2の反応炉の加熱温度を前記パーフロロカーボン類が熱分解する第2の温度に設定してなるパーフロロカーボン類測定装置。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/22 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

G01N 1/28 K ,  G01N 1/22 R ,  H01L 21/302 F

Fターム (5件)：

5F004AA00 ,  5F004BA19 ,  5F004BC08 ,  5F004CA04 ,  5F004CB03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• パーフロロカーボン類測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-187866   出願人：理研計器株式会社