特許
J-GLOBAL ID：200903054741214308

積層型圧電素子およびその製造方法

発明者：
小島 達也

小島 達也 について

, 
堀野 賢治

堀野 賢治 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-190654
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168408
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 高湿度環境下でも圧電体層の絶縁抵抗が劣化せず、耐湿性に優れ、高信頼性の積層型圧電アクチュエータ素子などの積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】 圧電体層4と内部電極層6a,6bとが交互に積層されている積層型圧電素子2であって、内部電極層6a,6bが、Auを必須成分として含有することを特徴とする。好ましくは、内部電極層6a,6b中に、Pd、PtおよびRhのうちの少なくとも1種の元素を含む。好ましくは、内部電極層6a,6b中の金属成分の全重量%を100とした場合に、前記内部電極層中のAuの含有量が、20〜90重量%である。好ましくは、内部電極層6a,6bの厚みが1〜3μmである。
請求項（抜粋）：
圧電体層と内部電極層とが交互に積層されている積層型圧電素子であって、前記内部電極層が、Auを必須成分として含有することを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (5件)：
H01L 41/083 ,  B81B 3/00 ,  C04B 35/495 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
B81B 3/00 ,  H01L 41/08 Q ,  C04B 35/00 J ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z
Fターム (19件)：
4G030AA07 ,  4G030AA11 ,  4G030AA15 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA20 ,  4G030AA22 ,  4G030AA24 ,  4G030AA25 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA32 ,  4G030AA33 ,  4G030AA34 ,  4G030AA39 ,  4G030AA40 ,  4G030BA10 ,  4G030GA27
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開平2-012880
  • 多層圧電素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-286118   出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-012880
  • 多層圧電素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-286118   出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス

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