特許
J-GLOBAL ID：200903054756458750

光学部品の製造方法及び光学部品の製造装置

発明者：
田中 正治

田中 正治 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221247
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086908
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 プラスチック光学部品及び金属反射膜上に対して、各々アンダーコート層及びオーバーコート層を、内部応力を低減しクラック等を生じ難くすることができる等、化学的に安定な膜質で形成することができるとともに、剥れ難くすることができる他、前処理を行うことなく同一系の中で成膜処理して装置コスト等を低減することができる。【構成】 所望の形状に成形した合成樹脂製光学部材の一つの面上にSi-Al-O-N系化合物薄膜を形成する工程と、次いで、該Si-Al-O-N系化合物薄膜上に該Si-Al-O-N系化合物薄膜よりも反射率の高い金属反射膜を形成する工程と、次いで、該金属反射膜上にAl2 O3 からなる酸化物系セラミックス薄膜を形成する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
所望の形状に成形した合成樹脂製光学部材の一つの面上にSi-Al-O-N系化合物薄膜を形成する工程と、次いで、該Si-Al-O-N系化合物薄膜上に該Si-Al-O-N系化合物薄膜よりも反射率の高い金属反射膜を形成する工程と、次いで、該金属反射膜上にAl2 O3 からなる酸化物系セラミックス薄膜を形成する工程とを含むことを特徴とする光学部品の製造方法。
IPC (6件)：
G02B 5/08 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/38 ,  C23C 14/54
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 特開平3-239201
  • 光記録媒体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-009307   出願人：ブラザー工業株式会社
  • 特開平4-013250
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