特許
J-GLOBAL ID：200903054819542773

半導体装置及び当該半導体装置の作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-094894
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277798
出願日： 2008年04月01日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】集積回路部上にアンテナを作り込んで設ける場合であっても、接続不良やコンタクト抵抗の増加を抑制することを課題とする。【解決手段】基板上に第1の導電膜を有する集積回路部を形成し、集積回路部上に絶縁膜を形成し、絶縁膜上にアンテナとして機能する第2の導電膜を選択的に形成し、絶縁膜及び第2の導電膜に開口部を形成して第1の導電膜を露出させ、メッキ処理により開口部及び第2の導電膜の上面に第3の導電膜を形成することにより、第1の導電膜及び第2の導電膜とを電気的に接続する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた集積回路部と、 前記集積回路部上に設けられた絶縁膜と、 前記絶縁膜上に設けられたアンテナとして機能する導電膜と、 前記集積回路部と前記アンテナとして機能する導電膜とを電気的に接続するコンタクト用導電膜とを有し、 前記絶縁膜及び前記アンテナとして機能する導電膜は開口部を有し、 前記コンタクト用導電膜は、前記開口部及び前記アンテナとして機能する導電膜の上面に設けられていることを特徴とする半導体装置。
IPC (12件)：
H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 29/786 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  G06K 19/07 ,  G06K 19/077
FI (10件)：
H01L21/90 B ,  H01L27/04 U ,  H01L27/04 L ,  H01L29/78 613Z ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/58 G ,  H01L29/50 M ,  H01L21/88 S ,  G06K19/00 H ,  G06K19/00 K
Fターム (189件)：
4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB31 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD06 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD20 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD78 ,  4M104DD91 ,  4M104EE09 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH03 ,  4M104HH09 ,  5B035BA03 ,  5B035BB09 ,  5B035CA01 ,  5B035CA23 ,  5F033GG03 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ01 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK10 ,  5F033KK11 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033KK18 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033MM04 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN16 ,  5F033PP06 ,  5F033PP12 ,  5F033PP15 ,  5F033PP26 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ53 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ78 ,  5F033QQ82 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033SS26 ,  5F033SS27 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV08 ,  5F033VV15 ,  5F033XX09 ,  5F033XX14 ,  5F033XX16 ,  5F038AZ04 ,  5F038CD18 ,  5F038DF01 ,  5F038DF11 ,  5F038EZ02 ,  5F038EZ03 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ20 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB20 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE32 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF25 ,  5F110FF26 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK05 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL08 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN71 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP10 ,  5F110PP24 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ23
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM