基板処理装置の処理液送液装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139088
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331984
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】第1、第2のべローズの拡張を検出する手段が故障しても、ベローズポンプによる送液動作を行なうことを可能とした基板処理装置の処理液送液装置を提供することを目的とする。【解決手段】第1センサ41または第2センサ42により第1のベローズ31または第2のベローズ32のうちの一方のべローズが完全に拡張したことを検出した後で、かつ、第1のベローズ31または第2のベローズ32のうちの他方のベローズが縮小を開始してから待機時間tが経過した後に、電磁弁を駆動して第1チャンバー33または第2チャンバー34への圧縮空気の供給動作を切り替える。

請求項（抜粋）：

処理液で基板を処理する基板処理装置に使用される処理液送液装置であって、その容積を拡張する際に処理液を吸引しその容積を縮小する際に処理液を吐出する第1のベローズと、その容積を拡張する際に処理液を吸引しその容積を縮小する際に処理液を吐出する第2のベローズと、前記第1のベローズが拡張したことを検出する第1の検出手段と、前記第2のベローズが拡張したことを検出する第2の検出手段とを有し、前記第1のベローズと前記第2のべロースとを気体の圧力で交互に加圧することにより処理液を送液する送液ポンプと、気体供給源から前記第1のベローズおよび前記第2のベローズに供給される高圧の気体の供給路を切り替えることにより、前記第1のベローズと前記第2のベローズとに交互に高圧の気体を印加して加圧するための切替手段と、待機時間tを設定可能なタイマー手段と、前記第1または第2の検出手段の故障時に、上記待機時間が経過する毎に、前記切替手段に前記供給路の切替動作を実行させる制御手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置の処理液送液装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 , H01L 21/304 648 , H01L 21/304

FI (3件)：

H01L 21/306 J , H01L 21/304 648 K , H01L 21/304 648 G

Fターム (3件)：

5F043AA01 , 5F043EE21 , 5F043EE24

引用特許：

出願人引用 (6件)

基板処理装置の処理液循環装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-088063 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開昭62-233485
特開昭61-117415

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