針状多孔性センサー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須藤政彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-064272
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248660
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】気孔率の高い多孔性のガスセンサー素子を提供する。【解決手段】針状に形態を制御されたガスセンサー材料粒子を静電気的にセンサー基板上に堆積することを特徴とするガスセンサー素子。【効果】針状に形態が制御されたガスセンサー材料粒子が互いに絡み合った状態で堆積した多孔性の厚膜構造が得られる。すなわちガスセンサー材料粒子の形態と厚膜構造を同時に制御した素子を容易に作製することができ、ガスセンサー素子として好適な多孔性厚膜を合成することができる。

請求項（抜粋）：