特許
J-GLOBAL ID：200903054852573340
プラズマディスプレイパネルの欠陥検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-277960
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086103
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】 PDPの欠陥検査方法において、信頼性の高い検査が行えるようにすることを目的とする。【解決手段】 間に放電空間が形成されるように対向配置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネルにおいて、前面パネル101の欠陥を検査する際に、前面パネル101の検査領域に前面パネル101とほぼ垂直な方向から光照射手段201により光束を照射するとともに、その照射光による前記検査領域からの散乱光を光学センサで受け、この光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
間に放電空間が形成されるように対向配置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネルにおいて、前記電極および誘電体層を形成した基板の欠陥を検査する際に、前記基板の検査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射するとともに、その照射光による前記検査領域からの散乱光を光学センサで受け、この光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を検出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの欠陥検出方法。
IPC (4件)：
H01J 9/42
, H01J 9/02
, H04N 17/04
, H01J 11/02
H01J 9/42 A
, H01J 9/02 F
, H04N 17/04 A
, H01J 11/02 B
5C012AA09
, 5C012BE03
, 5C027AA05
, 5C040GD09
, 5C040JA26
, 5C040JA31
, 5C040MA23
, 5C061BB03
, 5C061CC05
, 5C061EE21
