特許

J-GLOBAL ID：200903054861353522

物体の欠陥の検査方法および検査装置

発明者： 白神 昇 ,  美濃部 正夫
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299512
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118668
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 微妙な色調異常などの物体の欠陥を迅速且つ安定的に検出することができる物体の欠陥検査方法および装置を提供すること。【解決手段】 検査光を検査対象である物体に照射し、物体を透過した光もしくは反射した光を光学装置を用いて集光することにより物体の像を形成し、この像を観察することにより物体の欠陥を検査する方法において、光学装置として、物体を透過した光もしくは反射した光を集光する第1結像光学手段と、この第1結像光学手段の後方焦点面に配置され物体を透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光または直接光のいずれかを遮蔽する開口絞りと、この開口絞りの後方に配置され開口絞りを透過した散乱光または直接光を集光する第2結像光学手段とを備え、焦点距離Fが有限であるものを用いたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

検査光を検査対象である物体に照射し、前記物体を透過した光もしくは反射した光を光学装置を用いて集光することにより前記物体の像を形成し、この像を観察することにより前記物体の欠陥を検査する方法であって、前記光学装置は、前記物体を透過した光もしくは反射した光を集光する第1結像光学手段と、この第1結像光学手段の後方焦点面に配置され前記物体を透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光または直接光のいずれかを遮蔽する開口絞りと、この開口絞りの後方に配置され前記開口絞りを通過した散乱光または直接光を結像させる第2結像光学手段とを備え、焦点距離Fが有限であることを特徴とする物体の欠陥検査方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-002906
  
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-233819   出願人：株式会社ニコン