特許
J-GLOBAL ID:200903054864025720
感光性ポリイミド樹脂組成物、それを用いた絶縁膜、絶縁膜の製造方法および絶縁膜を使用した電子部品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平田 忠雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-301510
公開番号(公開出願番号):特開2005-196130
出願日: 2004年10月15日
公開日(公表日): 2005年07月21日
要約:
【課題】 膜の剥がれや、電気的ショートを防ぎ、電子部品本来の機能を果すことができる感光性ポリイミド組成物、それを用いた絶縁膜、そのような絶縁膜の製造方法および絶縁膜を使用した電子部品を提供することにある。【解決手段】 感光性ポリイミド樹脂組成物は、ポリイミド共重合体を構成するポリイミド主鎖中の繰り返し単位の分子量の前記繰り返し単位に含まれる置換基の総数に対する割合を置換基に対するポリイミド構成単位とするとき、前記置換基に対するポリイミド構成単位の値が200〜600とする。この感光性ポリイミド樹脂組成物を基板上に実装された電子部品等に絶縁膜として塗布、加熱したときに、絶縁膜の端部のテーパ角が10〜30°となる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
酸二無水物とジアミンとのイミド化反応により得られたポリイミド共重合体を含むポリイミド樹脂組成物に感光剤を添加して生成した感光性ポリイミド樹脂組成物において、
前記ポリイミド共重合体を構成するポリイミド主鎖中の繰り返し単位の分子量をA、前記繰り返し単位に含まれる置換基の総数をBとし、前記繰り返し単位の分子量の前記置換基の総数に対する割合A/Bを置換基に対するポリイミド構成単位Cとするとき、前記置換基に対するポリイミド構成単位Cの値が200〜600であることを特徴とする感光性ポリイミド樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F7/037
, C08G73/10
, H05B33/12
, H05B33/14
, H05B33/22
FI (5件):
G03F7/037 501
, C08G73/10
, H05B33/12 B
, H05B33/14 A
, H05B33/22 Z
Fターム (45件):
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA20
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025BJ10
, 2H025CB25
, 2H025DA19
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007EA00
, 3K007EB00
, 4J043PA04
, 4J043PC066
, 4J043PC146
, 4J043QB33
, 4J043QB34
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA62
, 4J043SA71
, 4J043SB01
, 4J043SB03
, 4J043TA47
, 4J043TB01
, 4J043TB03
, 4J043UA082
, 4J043UA121
, 4J043UA131
, 4J043UB062
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043VA012
, 4J043VA022
, 4J043VA052
, 4J043VA062
, 4J043XA16
, 4J043XB17
, 4J043XB19
, 4J043ZA46
, 4J043ZB47
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭64-60630号公報(段落0002)
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ポジ型感光性樹脂前駆体組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-314745
出願人:東レ株式会社
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