特許

J-GLOBAL ID：200903054869536588

目的物の検知器及び検知方法、及びポリッシング装置

発明者： 小栗 章三
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247387
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059876
出願日： 2001年08月16日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 種々の材料に対応することができ、また設置の自由度が高く、正確な検知が可能な目的物の検知器及び検知方法、及びかかる検知器を備えたポリッシング装置を提供する。【解決手段】 対象物に対して傾斜した投光軸A1を有する投光部62と、投光軸A1に対応する正反射光軸A3とは反対側に位置する受光軸A2を有する受光部63と、受光部63の受光量の変化によってウェハWの存在を検出する検出部64とを備えた。

請求項（抜粋）：

対象物に対して傾斜した投光軸を有する投光部と、前記投光軸に対応する正反射光軸とは反対側に位置する受光軸を有する受光部と、前記受光部の受光量の変化によって目的物の存在を検出する検出部とを備えたことを特徴とする目的物の検知器。

IPC (4件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 49/12 ,  G01B 11/00

FI (4件)：

H01L 21/304 622 R ,  B24B 37/00 Z ,  B24B 49/12 ,  G01B 11/00 A

Fターム (18件)：

2F065AA00 ,  2F065CC19 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065PP22 ,  3C034AA19 ,  3C034BB93 ,  3C034CA05 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058BA09 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 製造過程における素材の検出のための方法および装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-507061   出願人：スピードファムコーポレイション