特許
J-GLOBAL ID：200903054901935341
高純度薬品のための薬品補充システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-519632
公開番号（公開出願番号）：特表平9-508208
出願日： 1995年01月18日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】信頼性の高いディジタルレベルセンサアセンブリ(321)が、高純度薬品送出システム(218)における光センサ(34)と静電容量タイプのセンサに取って替わるために設けられる。このディジタルレベルセンサアセンブリ(321)は、マニホールドを使用した高純度原料薬品のためのバルク薬品補充送出システム(218)において特に有用であり、上記マニホールドは汚染のない作業を保証し、最小限のバルブと管との使用によって容器の交換ができる。
請求項（抜粋）：
高純度原料薬品を送出するためのアンプルであって、 a.貫通する開口を有するアンプル蓋と、 b.上記蓋の開口を通って上記アンプルの内部にまで延びるディジタルレベルセンサアセンブリとを備え、上記ディジタルレベルセンサアセンブリは、 i.少なくとも1つのトリガ点を有する少なくとも1つの金属ディジタルフロートレベルセンサと、 ii.上記少なくとも1つのディジタルフロートレベルセンサに接続された多数のコンダクタを有する電気ケーブルとを備え、 c.また、上記ディジタルレベルセンサアセンブリに永久的に取り付けられると共に、上記ディジタルレベルセンサアセンブリを、上記蓋の開口を取り巻く合わせ表面に上記ディジタルレベルセンサアセンブリを取り外し可能に固定するフランジと、 d.上記フランジと上記蓋との合わせ表面の間に置かれたOリングとを備えたことを特徴とするアンプル。
IPC (6件)：
G01F 23/74
, C23C 16/52
, F17C 13/02 302
, G01F 23/60
, H01L 21/205
, H01L 21/31
G01F 23/74
, C23C 16/52
, F17C 13/02 302
, G01F 23/60 B
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
