センサおよびセンサモジュール

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-277895
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086002
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】消費電力が少なく、信頼性が高いセンサおよびセンサモジュールを提供する。【解決手段】センサ1は、物理量の変化に応じて静電容量が変化するコンデンサ2と、コンデンサ2の静電容量を電圧に変換するC-V変換回路3と、複数の制御信号を発生する制御信号発生回路4とを有する。コンデンサ2が、共振周波数を有する周波数-静電容量特性を有し、物理量の測定に、共振周波数より極めて大きい、または、極めて小さい第1周波数の制御信号でコンデンサ2の静電容量が測定され、センサ1の自己診断に、共振周波数を含むその近傍の第2周波数の制御信号で前記コンデンサの静電容量が測定される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物理量の変化に応じて静電容量が変化するコンデンサと、前記コンデンサの静電容量を電圧に変換する静電容量-電圧変換回路と、複数の制御信号を発生する制御信号発生回路とを有するセンサであって、前記コンデンサが、共振周波数を有する周波数-静電容量特性を有し、前記物理量の測定に、前記共振周波数より極めて大きい、または、極めて小さい第1周波数の前記制御信号で前記コンデンサの静電容量が測定され、前記センサの自己診断に、前記共振周波数を含むその近傍の第2周波数の前記制御信号で前記コンデンサの静電容量が測定されることを特徴とするセンサ。

IPC (5件)：

G01L 19/12 , G01L 9/00 , G01L 17/00 , H01L 29/84 , B60C 23/04

FI (5件)：

G01L19/12 J , G01L9/00 305U , G01L17/00 301C , H01L29/84 Z , B60C23/04 G

Fターム (21件)：

2F055AA12 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE25 , 2F055FF45 , 2F055GG43 , 2F055HH01 , 4M112AA01 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA11 , 4M112CA12 , 4M112DA17 , 4M112EA02 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA20 , 4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

加速度センサ及びこれを用いたエアバッグシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-125897 出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
容量式物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-318467 出願人：株式会社デンソー

審査官引用 (2件)

容量式物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-318467 出願人：株式会社デンソー
物理量検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-072175 出願人：株式会社デンソー

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