特許

J-GLOBAL ID：200903054973638430

位置決め装置

発明者： 北山 文昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-335641
公開番号（公開出願番号）：特開2005-101455
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】位置決め基準の相違による位置決めの失敗の問題を解決する。【解決手段】この位置決め装置は、位置決めの基準位置とすべき箇所を設定する記憶部8と、基板における設定部8によって設定された箇所を検出するための計測器と、計測器によって検出された箇所が目標位置に一致するように基板を駆動する駆動機構3とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を位置決めする位置決め装置であって、 粗位置決めの対象となる前記基板の部位としての位置決め基準を設定する設定部と、 前記設定部によって設定された前記位置決め基準に基づいて前記基板の位置決めを行う位置決め部と を備えることを特徴とする位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H01L21/027

FI (3件)：

H01L21/68 M ,  H01L21/68 F ,  H01L21/30 520A

Fターム (26件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031JA03 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA11 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA27 ,  5F046BA03 ,  5F046EA30 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プリアライメントサーチを含む位置合わせ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164169   出願人：株式会社東芝