光透過物質の三次元情報の検出方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267227
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113240
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】透過物質の三次元形状・構造の情報を提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡において、光源1として連続スペクトルよりなる白色光を用いるとともに、試料となる透過物質2をレンズ3の焦点位置から離れた位置に配置することによって、その透過物質2の分散特性とレンズ3の色収差とを利用して、透過物質2の三次元形状や構造を光の波長別情報として検出する。

請求項（抜粋）：

試料となる光透過物質の任意の一点をレンズ系により結像し、該結像点にピンホールを配設して、上記光透過物質の表面形状や構造の情報を高分解能に検出する共焦点光学系において、光源として連続スペクトル光を上記光透過物質に透過させると共に、上記光透過物質から僅かに離れた位置にレンズ系の焦点を位置させることにより、上記光透過物質の分散特性と上記レンズ系にて生じた色収差とによって、上記ピンホールを通過した光の波長別パターンを検出することにより、上記光透過物質の三次元情報を光の波長毎の情報に変換したことを特徴とする光透過物質の三次元情報の検出方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01N 21/27 , G02B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/24 K , G01N 21/27 Z , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-031103
特開平1-188816
特開平4-115109

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