特許
J-GLOBAL ID：200903055047430563

角速度センサ

発明者：
飯井 良介

飯井 良介 について


出願人/特許権者：
キンセキ株式会社

キンセキ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-226532
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039760
出願日： 2000年07月27日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 振動子素子を角速度センサとして使用する場合、周囲の温度変化、電源電圧の変化などによって励振振幅が安定していないと良好なセンサ特性(励振振幅を一定に保つのは困難)が得られにくく励振回路で振幅を調整する方法が採られていたが、励振回路に依存せず素子自体の励振振幅を安定する素子の実現を目的とする。【解決手段】振動子素子の励振電極の存在するアームに、励振電極とは別に励振振幅検出用電極を形成する。励振電極に印加された励振振動信号によって、振動子素子の励振アーム内には交流電界が発生し、励振アームは所定の方向に振動し始める。この交流電界の変化を、励振振幅検出用電極で検出すると、励振振幅に応じた電圧となる。この電圧を励振回路の振幅比較手段に帰還させ、励振振幅調整手段を通して励振振動信号を調整することにより、励振振幅を安定させることができる。
請求項（抜粋）：
振動子素子とこの振動子素子に形成された励振電極および角速度検出用電極とを備えた振動子の前記励振電極に交流電圧を印加することにより前記振動子をX軸方向に励振させながら、Y軸中心に回転させたとき前記角速度検出用電極に生ずる電荷量に基づいて回転角速度を検出する角速度センサにおいて、前記振動子の励振側アームのX軸方向への励振振幅を検出する励振振幅検出用電極と、この励振振幅検出用電極により検出されるX軸方向への励振電圧に基づき、このX軸方向への励振振幅を予め定められた値とするための前記励振電極に印加する交流電圧の大きさを調整する励振振幅調整手段とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08
FI (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 41/08 Z
Fターム (10件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105BB04 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  4M112AA02 ,  4M112BA10 ,  4M112CA42 ,  4M112CA53
引用特許：
審査官引用 (1件)
  • 圧電式角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-140367   出願人：トヨタ自動車株式会社, 三菱電機株式会社

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