特許

J-GLOBAL ID：200903055070743153

磁気検出素子

発明者： 井出 洋介 ,  斎藤 正路 ,  石曽根 昌彦 ,  長谷川 直也
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 野▲崎▼ 照夫 ,  三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-058742
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245277
出願日： 2005年03月03日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】ΔRAが大きい磁気検出素子を提供する。【解決手段】フリー磁性層16はフリー磁性層16は下からCoFe層16a、NiaFeb合金層16b(ただし、a、bは原子%であり47≦a≦77、a+b=100である)及びCoFe16cが積層された3層構造を有している。 また、固定磁性層31、32はCo2MnGe合金などのホイスラー合金からなるホイスラー合金層31d、32aを有している。これにより、磁気検出素子の磁気抵抗変化量ΔRと素子面積Aの積ΔRAを5mΩμm2以上にすることができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

磁化方向が一方向に固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成されたフリー磁性層が設けられた多層膜を有し、前記多層膜の各層の膜面と垂直方向に電流が流れる磁気検出素子において、 前記フリー磁性層はNiaFeb合金層(a、bは原子%であり47≦a≦77、a+b=100である)を有しており、 前記固定磁性層がCo2YZ合金層(YはMn、Fe、Crのうち1種または2種以上の元素であり、前記ZはAl、Ga、Si、Ge、Sn、In、Sb、Pb、Znのうち1種または2種以上の元素)を有していることを特徴とする磁気検出素子。

IPC (4件)：

H01L 43/08 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/32 ,  G01R 33/09

FI (5件)：

H01L43/08 M ,  H01L43/08 Z ,  G11B5/39 ,  H01F10/32 ,  G01R33/06 R

Fターム (11件)：

2G017AA10 ,  2G017AC09 ,  2G017AD55 ,  5D034BA03 ,  5D034BA05 ,  5D034BA12 ,  5D034CA06 ,  5E049AA07 ,  5E049AC05 ,  5E049BA16 ,  5E049CB02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 磁気抵抗素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-249934   出願人：松下電器産業株式会社