特許

J-GLOBAL ID：200903055096608025

プローブ顕微鏡の制御方法

発明者： 本間 昭彦
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320759
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159683
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡に於いて、安定したフィードバック制御を行う。【解決手段】 カンチレバー5をその共振周波数付近で加振しその加振した周波数を基本波として検出される信号の変化によりカンチレバー5のたわみ量を測定する制御回路に於いて、該検出信号の実効値に相当する信号とカンチレバーのたわみ量を検出する光検出器出力の差信号に相当する信号または和信号に相当する信号とをフィードバック制御回路の入力信号とする構成。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡でカンチレバーをその共振周波数付近で加振しその加振した周波数を基本波として検出される信号の変化によりカンチレバーのたわみ量を測定する制御回路に於いて、該検出信号の実効値に相当する信号とカンチレバーのたわみ量を検出する光検出器出力の差信号に相当する信号とをフィードバック制御回路の入力信号とする事を特徴とする走査型プローブ顕微鏡の制御方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 振幅検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067131   出願人：セイコー電子工業株式会社