特許

J-GLOBAL ID：200903055114023013

金属酸化物膜、積層体、金属部材並びにその製造方法

発明者： 大見 忠弘 ,  白井 泰雪 ,  森永 均 ,  河瀬 康弘 ,  北野 真史 ,  水谷 文一 ,  石川 誠
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学 ,  三菱化学株式会社
代理人 (2件)： 池田 憲保 ,  福田 修一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006309327
公開番号（公開出願番号）：WO2006-134737
出願日： 2006年05月09日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

アルミニウムを主成分とする金属の保護に適した金属酸化物膜を提供する。アルミニウムを主成分とする金属の酸化物からなる膜であって、膜厚が10nm以上であり、前記膜からの放出水分量が1E18分子/cm2以下である金属酸化物膜、及びアルミニウムを主成分とする金属をpH4〜10の化成液中で陽極酸化して金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

半導体又は平面ディスプレイ製造装置の構造材保護用皮膜に用いる金属酸化物膜であって、アルミニウムを主成分とする金属の酸化物で構成され、膜の厚さが10nm以上であり、前記膜からの放出水分量が1E18分子/cm2以下であることを特徴とする金属酸化物膜。

IPC (6件)：

C25D 11/04 ,  C25D 11/18 ,  C25D 11/08 ,  C25D 11/10 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205

FI (9件)：

C25D11/04 302 ,  C25D11/04 308 ,  C25D11/18 ,  C25D11/18 311 ,  C25D11/18 312 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/205

Fターム (9件)：

5F004AA15 ,  5F004BB29 ,  5F004BD04 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045AA18 ,  5F045AA19 ,  5F045BB15 ,  5F045EC05