特許

J-GLOBAL ID：200903055135312074

圧電振動子およびその製造方法、発振器、リアルタイムクロック、並びに、電波時計受信モジュール

発明者： 小野 泰弘 ,  樋口 天光
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-032059
公開番号（公開出願番号）：特開2008-199276
出願日： 2007年02月13日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：

【課題】容易に小型化することができる圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電振動子100の製造方法は,基板2の上方に被パターニング層を形成する工程と、被パターニング層の上方に振動部10の屈曲振動を生成する駆動部20を形成する工程と、基板の一部を除去して、振動部形成部分の下方に第1開口部80を形成する工程と、レーザ光50の照射により被パターニング層をパターニングして、自由端および固定端を備える振動部、振動部の固定端を固定する支持部40、並びに、第1開口部に通じる第2開口部42を形成する工程と、を含み、駆動部を形成する工程は、第1電極を形成する工程と、第1電極の上方に圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と,を有する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

基板の上方に被パターニング層を形成する工程と、 前記被パターニング層の上方に振動部の屈曲振動を生成する駆動部を形成する工程と、 前記基板の一部を除去して、振動部形成部分の下方に第1開口部を形成する工程と、 レーザ光の照射により前記被パターニング層をパターニングして、自由端および固定端を備える振動部、該振動部の該固定端を固定する支持部、並びに、前記第1開口部に通じる第2開口部を形成する工程と、を含み、 前記駆動部を形成する工程は、 第1電極を形成する工程と、 前記第1電極の上方に圧電体層を形成する工程と、 前記圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と、を有する、圧電振動子の製造方法。

IPC (8件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/17 ,  H03H 9/24 ,  H03H 3/007 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (10件)：

H03H3/02 B ,  H03H9/17 F ,  H03H9/24 Z ,  H03H3/007 Z ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/22 Z

Fターム (22件)：

5J079AA01 ,  5J079AA05 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079FB39 ,  5J079HA03 ,  5J079HA04 ,  5J079HA06 ,  5J079HA07 ,  5J079HA22 ,  5J079KA02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK03 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動型ジャイロセンサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-105885   出願人：ソニー株式会社