特許
J-GLOBAL ID：200903088784665615

振動型ジャイロセンサ素子

発明者：
高橋 和夫

高橋 和夫 について

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田村 孝

田村 孝 について

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本多 順一

本多 順一 について

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稲熊 輝往

稲熊 輝往 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-105885
公開番号（公開出願番号）：特開2005-291858
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 小型で感度の高い、片持ち梁形状の振動子を有する振動型ジャイロセンサ素子とする。【解決手段】 単結晶シリコン基板上に薄膜形成プロセスにより形成された下部電極、圧電薄膜、上部電極を有する片持ち梁形状の振動子11が、上部電極として、振動子11を振動させる電圧を印加する振動子11の長手方向に形成された駆動電極6aと、駆動電極6aを挟む形で、駆動電極6aと接触することなく平行に振動子11の長手方向に形成された第1の検出電極6b及び第2の検出電極6cとを有し、駆動電極6aの幅をW0、第1の検出電極6bの幅をW1、第2の検出電極6cの幅をW2、W=W0+W1+W2とした場合に、条件として、0.5<(W0/W)<1を満たすことで実現する。【選択図】図35
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板上に薄膜形成プロセスにより形成された下部電極、圧電薄膜、上部電極を有する片持ち梁形状の振動子を備え、上記圧電薄膜の圧電効果を利用して角速度を検出する振動型ジャイロセンサ素子であって、 上記振動子は、上記上部電極として、上記振動子を振動させる電圧を印加する上記振動子の長手方向に形成された駆動電極と、上記駆動電極を挟む形で、上記駆動電極と接触することなく平行に上記振動子の長手方向に形成された第1の検出電極及び第2の検出電極とを有し、 上記振動子の根元から上記駆動電極の重心位置までの距離をL1、上記振動子の根元から上記第1の検出電極の重心位置までの距離をL2、上記振動子の根元から上記第2の検出電極の重心位置までの距離を同じくL2とした場合に、以下に示す条件(1)を満たすこと を特徴とする振動型ジャイロセンサ素子。 (1)0<(L2/L1)≦0.75
IPC (5件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22
FI (5件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z
Fターム (9件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (7件)
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