特許
J-GLOBAL ID：200903055233397428
磁気ディスク欠陥検査方法および検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梶山 佶是
, 山本 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-130619
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315590
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 磁気ディスクの磁性膜の有無あるいは磁性膜が薄い欠陥等の磁気的な欠陥を検査することによって磁気ディスク検査のスループットを向上させることができる磁気ディスク欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。【解決手段】 この発明は、光-磁気のカー効果により磁気ディスクの磁性膜の残留磁化Brが直線偏光の照射光からの反射光の偏光回転角として得られるので、この発明にあっては、このカー効果を利用して受光器の前に偏光面の回転に応じた光量を通過させる検光子を設けて、この検光子を介して得られる検出値と所定の基準値との差に応じて磁気的な欠陥を検出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
レーザスポットを磁気ディスクの表面に照射しかつ照射された前記レーザスポットの位置の前記ディスクの表面の上部に磁石を配置して前記レーザスポットとともに前記磁石を前記ディスクに対して相対的に移動させて前記ディスクの表面を走査し、前記レーザスポットの正反射光を受光器により受光してこの受光器の出力信号に応じて検出値を得てこの検出値に応じて前記磁気ディスクの磁気的な欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
前記レーザスポットを所定の一定方向の直線偏光光とする偏光子と、
前記受光器の前に設けられ前記正反射光の偏光面の回転に応じた光量を前記受光器に受光させる検光子とを備え、
前記受光器を介して得られる前記検出値と所定の基準値との差に応じて前記欠陥を検出する磁気ディスク欠陥検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2G051AA71
, 2G051AB02
, 2G051AC11
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB07
, 2G051CA01
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051DA06
, 2G051DA08
, 2G051EA12
, 2G051EC01
, 5D112AA24
, 5D112JJ05
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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磁気欠陥検査方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-291702
出願人：株式会社日立製作所
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特開平1-172736
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ディスク試験装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-090412
出願人：ソニー・テクトロニクス株式会社
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